二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273940 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款先進的快速熱處理器發動機，專為半導體行業設計，以提供更好的性能。它能夠提供高熱均勻性橫跨晶片和不同的溫度扮演一個單一的路線圖。AST Helios還提供卓越的晶圓吞吐量和高可重復性以及緊密的工藝利潤。STEAG Helios使用高功率2000 W輻射加熱源和冷卻沖洗技術為基板提供快速熱處理。它還包括獨特的專利冷墻設計，以消除基板和加工室壁之間的幹擾效應。這大大縮短了使用時間,並縮短了周期時間。Helios有一個令人印象深刻的控制系統,它利用數字熱控制消息總線（DTM-Bus）和預測熱控制消息傳遞（PTM）。這允許對所有重要過程參數進行精確的閉環控制，並為快速熱處理設定了新的標準。它還配備了先進的故障管理系統和先進的過程參數監控等一系列復雜的診斷。MATTSON Helios還具有開放式系統架構、內置安全聯鎖、綜合緊急停車等一系列改進的安全功能，以確保在任何時候都能最大程度地安全。總體而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款出色的快速散熱處理器,具有先進的技術和尖端的設計。它允許以經濟高效的方式提高晶圓吞吐量和高可重復性，並為RTP、WTL、退火、氧化、擴散等SiC工藝應用提供可靠、靈活、安全的解決方案。