二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273943 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速熱處理器,旨在支持各種溫度過程,如退火、氧化物、氮化物和擴散。這一行業領先的工具為熱過程提供了精確的熱控制、精確的溫度均勻性和快速的循環時間。它還提供靈活的編程選項,能夠保存和召回多個流程步驟的配方,以及允許快速配置設置的直觀界面。AST Helios配備了幾個先進的特性，使其具有卓越的溫度均勻性和控制力。采用兩級加熱系統，分別控制加熱器功率，采用多種控制算法保證溫度的精確控制。加熱元件對溫度波動也有很高的耐受性，並給出了廣泛的可重復剖面。STEAG Helios還采用了集成的壓力控制壓力室，使其能夠快速達到高溫，並確保整個晶圓的溫度分布均勻。它還具有溫度傳感器和能夠承受高達1000C的溫度的壓力室。該系統以更短的過程時間和更高的精度執行快速熱循環,從而提高了過程的可重復性。它還對晶圓進行實時熱成像和象限監測，使用戶能夠觀察和監測過程的進展。Helios利用高級數據收集、信號采集和控制軟件,使系統能夠通過網絡進行遠程監視和控制。此軟件允許在不中斷過程的情況下輕松遠程修改熱循環。MATTSON Helios無疑是市場上最堅固可靠的快速熱處理器之一。其出色的溫度控制和均勻性,以及快速的周期時間和靈活的編程選項,使其成為熱過程的首選。