二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9275252 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款先進的快速熱處理器，用於熱退火和晶圓處理。它以先進的技術為基礎，實現了高溫度均勻性和大、小特征的高速率退火。處理器為離散零件和晶片提供了廣泛的退火溫度和快速吞吐量。AST Helios附有6 「X 6」的熱區，可以加熱直徑達300 mm的晶片。STEAG Helios的創新設計使任何材料都能有效退火。其強大的直接加熱技術通過精密的工藝控制，產生卓越的溫度均勻性。先進的溫控設備確保預選區域溫度準確一致，退火工藝更加高效均勻。MATTSON Helios還提供快速熱處理，最大坡道速率高達1000 °C/秒。這增加了單個熱循環的過程速度和周轉時間。此外，系統還配備了多種工藝監控系統，如實時晶圓監控、高級溫度剖析、疲勞測試等。其他功能包括可靠的冷卻單元、用於控制退火過程的專用軟件以及自動對齊機。Helios還有一個集成的氮氣/氦氣凈化線選項，它能夠更快地預熱，保護敏感材料免受氧化和汙染。它帶有一個內置的保護和安全工具，以防止晶圓的過度處理。STEAG/MATTSON/AST Helios設計為易於維修,即使經常使用。彈性可用性和高資產正常運行時間是AST Helios的其他優勢。所有這些特性使STEAG Helios成為任何熱處理應用的理想選擇。