二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281781 待售

ID: 9281781
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2004 vintage.
STEAG/MATTS/AST Helios是一款先進的快速熱處理器(RTP),專為生產和研究應用而設計。它能夠在短時間內加熱樣品,溫度略高於850°C,精度和精確度為毫秒。該設備配備了全自動控制設備,能夠以高度統一的方式實現可重復的結果。AST Helios RTP帶有先進的兩區加熱設計,允許每個區獨立運行。這使得在加熱過程中實現更高程度的均勻性和精確度成為可能。這兩個管子中的每一個都包含一個堅固的石墨絕緣基體和一根鎢絲,允許改進熱性能。為了提高可靠性,系統配備了精密的反饋回路和控制單元,允許非常快速的響應和精確的溫度調節。STEAG Helios RTP還具有先進的熱氧化機,允許材料的高通量和低溫氧化。該工具專門為需要高速率氧化過程的應用而設計,例如半導體器件的生產。它也非常適合其他需要精確熱控制的工藝,包括快速晶體生長和薄膜沈積。Helios RTP包括先進的多光譜成像資產,允許精確監測和控制樣品溫度和氧化態。此模型可以與其他軟硬件系統結合使用,允許用戶將熱過程優化到他們的特定應用。MATTSON Helios RTP專為潔凈室應用而設計,為運行進程提供了非常安全的環境。這包括高度的環境控制,以及防止有害的靜電和靜電排放。這也允許改進對熱過程的控制,以及增加設備壽命。總體而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款先進可靠的散熱處理器。它具有很高的性能和準確性,非常適合各種高科技熱處理應用。
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