二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281783 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一款用於集成電路制造的快速熱處理器（RTP）。AST Helios用於在集成電路制造過程中快速升高或降低晶片或基板上的溫度。此過程稱為熱處理。STEAG Helios配備了微米精度的頂點對準設備，使其能夠快速達到每個基板所需的溫度，確保精確的結果。這對於集成電路制造很重要，因為它確保基板上的每個平臺都達到相同的設定點溫度，這對於高效、準確的設備制造至關重要。太陽神利用直接氣體加熱和等離子體處理相結合，達到溫度目標。直接氣體加熱系統使MATTSON Helios能夠將超過10,000瓦的熱能傳遞到晶圓上，使其快速達到設定的溫度點。等離子體處理使STEAG/MATTS/AST Helios在整個晶圓中達到均勻的溫度，這在制造和連接集成電路時很重要。AST Helios有3個主要部分：溫度控制單元、加熱室和氣體輸送單元。溫度控制單元監控並保持溫度水平，提供200 °C至1000 °C的溫度範圍，精度± 5.5°C。加熱室用於將晶片置於指定的熱能之下，以達到所需的溫度水平。氣體輸送機被用於向腔室提供特殊氣體，如氮氣、氦氣和氙氣。STEAG Helios還配備了一種稱為加熱毯子的輔助加熱工具。這種資產利用熱氣體循環通過工藝室，提供絕緣外部影響。同時，加熱的毯子還有助於降低工藝室在溫度快速變化時所承受的應力和應變。Helios為集成電路制造商提供了一種高精度、高效的熱處理模型,可減少缺陷並縮短工藝時間。這導致了客戶的高度滿意度,使其成為任何集成電路制造設施的重要組成部分。