二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #293639177 待售

ID: 293639177
晶圓大小: 6"
Rapid Thermal Processor (RTP), 6" 1995-1996 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS 2000快速熱處理器是對多種材料進行熱處理的高度精確的設備。處理器由多種組件組成,它們以復雜、微調的方式協同工作,以達到預期的效果。處理器具有單一的自動加載程序,可簡化基板加載和卸載過程。此功能最多可容納12個石英晶片,直徑可達8英寸。晶片以旋轉配置排列,提供了一種快速高效的裝卸方法。處理器還具有用於進行熱處理的兩區多區腔室。兩區室設計為提供一致的溫度和均勻的加熱和冷卻,消除任何不希望的波動。多區腔室提供了將不同溫度應用於基板的不同部分的選項,從而可以對結果進行更大程度的控制。處理器還使用射頻調諧燈或LED燈為正在處理的基板提供必要的熱源。該燈由可調節直流電源供電,可根據應用程序的需要進行專門定制。處理器還能夠通過溫度控制系統監控基板的確切溫度和熱過程的確切參數。溫度指示器和數據記錄器用於提供此功能,允許用戶查看精確的數據。最後,處理器有一系列的安全功能來保護使用者、基板和機器本身。這包括過度溫度保護,它監視和控制基板的溫度,以確保它不超過所需的溫度限制。還有一個緊急停止按鈕,允許在緊急情況下立即關閉機器。除了這些功能外,處理器還使用專有軟件和直觀的用戶界面來實現高效準確的操作。所有這些結合在一起,創造出高效可靠的快速散熱處理器,能夠產生一致、高質量的結果。
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