二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #9155403 待售

STEAG / MATTSON / AST SHS 2000
ID: 9155403
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Rapid thermal processor systems (RTP), 6" 1996 vintage.
STEAG/MATTS/AST SHS 2000是一種快速熱處理器(RTP),旨在幫助半導體制造商高效生產高質量的半導體晶圓。利用強大的紅外燈和噴氣系統快速熱處理晶片表面。快速熱處理是半導體生產中的一個重要步驟,用於在晶圓上創建不同的加工狀態。AST SHS 2000是一個模塊化RTP系統,可以針對不同的需求進行優化。它由燈櫃、過程控制模塊和冷卻框架組成。各種燈可供使用者為其製程選擇最合適的能量範圍和功率需求。過程控制模塊可確保準確、可重復的熱斜坡、浸泡和冷卻剖面,從而創造理想的加工條件。風扇速度可調節的內置冷卻框架有助於快速降低晶圓表面溫度。機器也很容易操作。它使用帶有觸摸屏的專有圖形用戶界面(GUI),用於快速、精確的參數和設置調整。GUI還在不犧牲質量的情況下最大限度地提高了吞吐量速度。此外,STEAG SHS-2000提供了較低的維護成本和部件可用性,這有助於確保長期的可靠性和成本效率。MATTSON SHS 2000是一種高效、經濟高效的半導體制造商解決方案,旨在快速、準確地處理中小型晶片。其易用性、低維護成本和模塊化設計使AST SHS-2000簡化半導體生產的絕佳選擇。
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