二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293813733 待售

STEAG/MATTS/AST SHS 2800是一種工業級快速熱處理器（RTP），用於包括研發、生產、測試/維修等多種微電子應用。AST SHS 2800設計用於在各種溫度範圍內提供精確、可重復的熱控制,從而能夠制造高質量、高性能的微型設備。STEAG SHS-2800能夠進行快速熱退火（RTA）、快速熱摻雜活化（RTDA）、快速熱氧化（RTO）、快速熱擴散（RTD）、快速熱硝化（RTN）、快速熱硝化/氧化（RTNO）和快速熱氫化（RTH）。配備集成基板溫度監測系統和多區溫度控制。它能夠在-75至+650°C的溫度範圍內，最大斜坡速率為15°C/s。STEAG/MATTSON/AST SHS-2800具有晶圓載波的多種選項,具有用戶定義的均勻熱接觸接觸力。這些載體可用於直徑不超過200毫米的各種基材。MATTSON SHS-2800還配備了200W的石英鹵素燈,用於樣品加熱.該系統還配備了多種氣體輸送選項，允許精確控制氣體輸送，並使用用戶定義的模式進行精確的過程控制。STEAG SHS 2800包括一個氣體混合器模塊,每個模塊最多可同時輸送5種氣體和完全由用戶定義的氣體混合物。SHS 2800還包括一個可選的圖形用戶界面（GUI），允許對所有工藝參數進行精確監控。它提供了工藝參數的實時圖形,包括溫度和氣體成分剖面。它還提供了一個自動晶圓加載/卸載系統，在過程結束時自動關閉。SHS-2800提供對所有工藝參數的精確實時控制以及熱和氣結果的數據記錄。它專為便於操作和維護而設計,並安裝在100級潔凈室框架中,以實現最佳的安全性和可靠性。總體而言，AST SHS-2800是任何需要精確熱控制和均勻性的微電子應用的理想選擇。其用戶定義的工藝參數和範圍廣泛的溫度使得能夠制造高質量、高性能的微型設備。