二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #9096061 待售

STEAG/MATTS/AST SHS 2800是一款先進的快速熱處理器（RTP），專為晶圓和基板的快速精確熱處理而設計。它是用於快速熱退火和快速熱氧化過程的最先進的工具。AST SHS 2800允許在具有精確控制太陽能條件的統一系統中快速熱處理。每個腔室都有兩個獨立的溫區，可以用任何想要的組合來編程，可以達到2400 °C的最高溫度。STEAG SHS-2800的獨特設計防止了交聯，限制了粒子產生的影響，為敏感基板提供了額外的保護。該工具配備了一系列先進的診斷能力，使其能夠精確、精確地測量晶圓溫度、氣流和腔內壓力等變量。它的設計還具有一系列安全功能，有助於防止潛在危險並確保安全運行。MATTSON SHS 2800每小時最多可處理200 300 mm或400 200 mm晶圓，確保快速周轉。它還具有一個單晶片給藥平臺，確保晶片加熱一致，並消除熱失控。此外，該工具為基板提供了卓越的精度，需要精確的溫度控制和均勻性。SHS 2800 Rapid Thermal Processor通過先進的診斷和安全功能確保快速的熱處理,確保安全有效的操作。它提供了特殊的過程均勻性,最高溫度為2400 °C,並且可以防止潛在的危害。最後，單晶片配料平臺確保了整個基板加熱的快速通量和一致性。