二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E / 2800 CS #9179203 待售

STEAG/MATTS/AST SHS 2800E/2800 CS是一種多區域快速熱處理器（RTP）。這種設備被設計用來利用能量豐富的紅外等離子體快速加熱，冷卻，退火，否則加工晶片。它是為生產環境而制造的高度精確可靠的設備。其離子植入兼容設備即使是最復雜的結構，也能以精確的方式快速處理。處理器的多區域設計包含三個獨立的加熱、表面冷卻和冷卻區域。每個單獨的區域都配有固態繼電器，允許高速和均勻的溫度循環。加上處理器控制器的快速處理速度，這些特性提供了高效的熱處理序列執行。AST SHS 2800E/2800 CS的軸向淋浴頭系統是處理器的關鍵特性。它利用高速強制空氣對流單元在大小晶片上實現高度均勻的熱剖面。強制空氣對流機還與透明石英屏蔽相結合，以便在加工過程中最小化晶片上的背面電荷堆積。STEAG SHS 2800E/2800 CS還具有多種內置安全功能,包括自動關閉和連續、低級、實時的過程環境監控。這些功能確保處理器在既定的安全準則內安全運行。除了熱處理能力外，SHS 2800E/2800 CS還兼容多種添加劑加工必需品，包括氣體輸送、激光切片等等。該處理器可用於多種過程，包括PEDOT： PSS、復合半導體產品的緩沖層等。MATTSON SHS 2800E/2800 CS是一種高性能、多區域RTP,可提供可靠和可重復的結果、高效、低成本的操作和高速熱循環。這種多用途的設備非常適合各種應用,並且可以快速高效地處理各種晶圓配置。