二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092862 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor是用於在極端溫度下處理晶圓和其他半導體基板的專用設備。該設備包含兩個主要部件：一個腔室和一個消散器。腔室是一個具有內部護罩的耐真空雙壁腔室，有助於將集中的熱量漏鬥到基板上。耗散器是由九個加熱元件組成的陣列，這些元件被單獨編程以產生高達1200攝氏度的溫度。加熱元件的嚴密控制及其快速響應，使AST SHS 2800E同類產品中用途最廣泛的機器。STEAG SHS 2800E主要用於半導體制造，用於快速熱退火、擴散和雜質植入。利用其最先進的熱循環控制設備，即使對工藝參數或晶片進行了修改，也可以精確地執行多達九個循環。這種溫度控制精度使得SHS 2800E多矽門激活、金屬互連形成和SOI器件加工等復雜工藝步驟的理想設備。機器還包含一個小的、可移動的平臺，這樣晶圓就可以快速輕松地放置在基板上。此外，還有先進的蒸發器控制系統，允許真空室內多次蒸發。此外，還將一個實時診斷單元集成到該單元中，以提供有關工藝參數、溫度、氣體壓力和基板溫度的詳細反饋。MATTSON SHS 2800E體積小巧，並配有一個內置的空調機，用於室內的優化冷卻。該裝置的總工藝速率高達每小時200晶圓，效率極高，是半導體制造的理想選擇。它還配備了用戶友好的控制工具，易於編程和理解，使其成為工業和研究實驗室的絕佳選擇。綜上所述,STEAG/MATTS/AST SHS 2800E快速散熱處理器是市場上最可靠、效率最高的機器之一。它具有高精度溫度控制和多循環編程功能，是晶圓處理應用的理想選擇。