二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092863 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E快速熱處理器是一種熱處理設備,專為廣泛的工業和研究應用而設計。適用於加工直徑達6英寸、最大厚度0.2mm的晶片。它包含一個由一對能提供高達1100 °C溫度的爐加熱的單室。這些爐位於腔室的上方和下方，以便在整個基板上提供均勻的加熱。該系統還具有精確的溫度控制，具有高熱均勻性、高坡道率柔韌性、廣泛的加工氣體和廣泛的加工壓力範圍（50 mbar C）。它還有一個綜合氣體管理單元，有四條能運載九種不同氣體的氣體管線。該單元是自動化的，可以用多個配方編程，以最大限度地提高效率。該機器配備了一個自動艙口裝卸工具和一個晶片處理資產，每個進程運行最多30個晶圓。它還具有用於樣品表面雙視圖的過程監視器。此外，該型號還具有先進的安全功能，可保護人員、設備和基板在操作過程中免受潛在損壞。其中包括對所有安全設備部件的自動監控、過溫報警、氮氣入口和出口流量探測器，以及強大的真空控制器。熱處理系統通過分布式控制單元PROCO Plus Interface與最終用戶軟件通信。這允許用戶使用2800E的集成圖形用戶界面監視實時進程,並設置程序以從遠程位置運行晶圓進程。AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor是一種用於高溫加工和晶圓級制造的先進機器。它提供均勻一致的加熱基板，具有出色的溫度控制，以及可靠的安全功能，以保護人員，單位和基板。適用於許多工業和研究應用，可以用自動運行的配方進行編程。