二手 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293815994 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF快速熱處理器（RTP）是一種功能強大且用途廣泛的工具,旨在為各種電氣、光子和光電設備提供精確的溫度控制。AST SHS-2800SF由一個具有兩個獨立的高速溫度控制級的電子控制器組成。初級階段提供均勻的快速加熱和冷卻,精度高達10°C,響應時間為3-10秒。該階段旨在支持快速熱退火（RTA）、擴散、氧化和矽化等過程。二級提供快速冷卻，響應時間為4-15秒，冷卻速率高達1000 °C/秒。該溫度控制級設計用於支持快速熱氮化物和快速熱氧化等過程。STEAG SHS-2800SF包括先進的基於熱電偶的溫度控制,提供可實時監控的精確溫度讀數。該系統還支持單發和連續的流程周期，允許可重復和一致的流程。控制器封裝在密封的氮氣清洗櫃中，提供額外的溫度穩定性和控制水平。風冷氣閘提供額外的一層保護，允許基板在保持腔室大氣的同時往返RTP。MATTSON SHS-2800SF為精確的溫度控制過程提供了強大而通用的解決方案。它具有加熱和冷卻均勻的精確控制溫度的能力，其先進的溫度控制系統提供了可重復和一致的過程。這種高性能儀器是各種電氣、光子和光電器件的工藝開發和生產的寶貴工具。