二手 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #9238081 待售

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ID: 9238081
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Rapid Thermal Processor (RTP), 8" Implant annealing AST Super heat system Hardware configuration: Main frame (2) ASYST Indexers 2200 Handler system: PRI Robots Process chamber Aligner Rough pump (AA40): Left Heat exchanger (SMC Chiller): Right 1997 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processor是一種專用設備,用於在微觀尺度上促進材料的精確、可靠和可重復的修改。該工具是針對需要快速回火和精確控制熱環境的各種過程的優化解決方案。該設備提供多種功能,使其成為各種應用程序的理想解決方案。為樣品快速熱內部通電而設計的諧振頻率驅動器最大程度地減少了整個樣品的預熱時間。一旦達到所需溫度,精確的溫度控制可確保樣品保持在精確的目標。熱循環參數可以從一秒到四千秒以一秒為增量設置,從而可以對熱歷史輪廓進行精細控制。該裝置還設有一個隔離真空和氣體控制室,用於保護大氣處理。這為樣品提供了一個孤立的環境,保護其免受外部汙染,並控制樣品空間中任何反應性或非反應性氣體的濃度。為了進行維修,艙門上的透明窗戶允許直接目視檢查樣品,同時在需要時提供進入艙室的通道。AST SHS-2800SF快速散熱處理器能夠處理大小不超過12英寸的晶片。該設備配備了安全報警監控設備,有助於在出現任何不安全情況時提醒用戶。此外,處理器的內置冷卻系統有助於保持單位溫度穩定並減少停機時間。總體而言,STEAG SHS-2800SF快速熱處理器是許多行業和研究實驗室的高效可靠的工具。它具有靜電真空室和精確的溫度控制,可以對材料進行高效和可重復的修改。此外,其高效的冷卻機和安全報警監控工具使其成為用戶在微觀尺度上快速修改材料的安全、可靠和有效的方法。
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