二手 STEAG / MATTSON / AST SHS #9119657 待售

ID: 9119657
Rapid Thermal Processor (RTP) No computer / Internal cards Power: 400 V, 43 kW.
STEAG/MATTS/AST SHS是一款先進的快速熱處理器,旨在提供半導體制造中方便、精確的溫度控制、準確的溫度監控和可靠的熱控制。與傳統的熱處理相比,此產品減少了加工時間,提高了產量,並降低了能源成本。這種快速熱處理器用於面板加熱和冷卻、模具固化和二極管激光電路開發的高速功能。熱處理器支持半導體制造中使用的四種標準溫度中的任何一種,溫度範圍從-30°C到250°C。其標準循環時間為1秒,溫度分辨率為0.01 °C。本產品具有精確的溫度控制功能,可在許多過程條件下輕松配置,包括快速冷卻。該產品具有出色的動態過程控制和專有的脈沖寬度調制(PWM)技術,可減少溫度過沖並最小化熱梯度,從而確保產品的最佳參數。處理器包括多項安全功能,包括安全聯鎖系統以確保該過程在指定的安全溫度範圍內運行,以及用於連續監測散熱器溫度的熱電池。這還包括一個自動故障安全功能,可在溫度過高/電壓條件下停止熱循環。該產品采用堅固的材料和耐用的結構,以幫助抵禦惡劣的制造環境。涼爽的溫度空氣通過雙循環風扇循環,以冷卻產品並保持安全的溫度水平。其嵌入式計算機提供操作控制、記錄、顯示和分析關鍵過程參數以進一步優化,而警報、通知和警告可用於操作監控和系統維護。該產品還包括用於生成熱循環參數通用配置文件、創建自定義加熱和冷卻例程以及監控面板熱配置文件圖像的軟件。這樣可以有效地操作熱過程,從而提高產品的質量。此外,本產品還配備了直接邏輯I/O,具有更高的安裝靈活性,並且可以與線路中的其他計算機無縫連接以進行數據傳輸。AST SHS具有多種多樣的特點和最先進的熱工藝控制,是半導體制造和生產的理想熱處理器。
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