二手 STEAG / MATTSON / AST SHS #9192433 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS是一種強健、高性能的快速熱處理器（RTP），設計用於半導體器件生產。它能夠快速加熱和冷卻基板，主要用於批量晶片的加工和小型設備的生產運行。AST SHS處理器是利用四熱區快速熱退火（RTA）技術的三室大氣壓RTP。每個腔室設有四個獨立控制的加熱區，用於精確的溫度控制。每個區域的溫度可以獨立調整到所需設定點的+/-0.01°C以內，從而可以在整個基板上進行精確的溫度控制。STEAG SHS還利用高速氣道流來保證高效的熱性能和均勻性。熱區和冷區均可調節流量。MATTSON SHS的整體設計由幾個階段組成。其中包括一個腔室、預熱器、區域加熱器、冷卻容器、氣體出口和兩個加熱區源。該腔室設計用於提供基片的受控熱循環，並被紅外吸收器包圍，以最大限度地提高熱效率。預熱器用於快速加熱基板，然後在區域加熱器中加工。Zone Heater是一個四區系統，可以調整以適應廣泛的溫度範圍，從-150攝氏度到+100攝氏度。冷卻貯器有助於基板的均勻冷卻，而氣體出口則提供快速的氣流以實現均勻冷卻。兩個熱區源從腔內提供精確的溫度控制。SHS能夠在批量運行或生產運行中運行,並配備軟件以簡化任何系統參數的編程。STEAG/MATTSON/AST SHS的用戶界面簡單易用,並提供了多種圖形表示,便於視覺反饋。還可以使用手動和自動模式,從而簡化流程的操作。此外，AST SHS還具有內置的安全系統，以確保在加工過程中對人員和基板的完全保護。STEAG SHS是生產各種集成電路的理想選擇，從小型設備到大型數字半導體。通過其獨特的技術和用戶友好界面的結合，它提供了高效和可靠的熱處理。