二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9227375 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200是一種快速熱處理器（RTP）,可提供可靠的高性能來處理半導體晶片的熱過程。利用具有多區能力的強制對流加熱和冷卻，獲得精確的溫度和均勻性控制。TEL 5BAO-200設計用於處理直徑可達8英寸的大而重的晶片,並具有用於退火、重結晶和擴散等熱處理應用的精確溫度控制。它提供了多/雙區選擇的冷熱晶片處理能力，用於精確控制每個晶片的表面溫度。WAFERMASTERS 5BAO-200具有快速加熱功能,對高達1400˚C的溫度的響應時間僅為5毫秒。這種快速加熱使得擴散、氧化和氮化等過程能夠在傳統方法所需時間的一小部分內完成。TOKYO ELECTRON 5BAO-200還提供快速冷卻選項，冷卻時間從1200˚C到室溫僅12秒。該系統采用高級控制器,具有4x4多區域選項,可精確控制整個晶圓表面的溫度。這允許精確的溫度調整以優化熱過程,以及跨多層材料的精確溫度調整。這些特性可以使晶片得到更高精度和均勻性的處理。除了先進的溫度控制外，5BAO-200還采用數字氣流控制和渦輪式閥門，提供可重復的沈積物，而不會發生變化。這種氣流控制增強了過程的重復性和重復性。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200還包括石英封裝的自動晶圓傳遞機構。這允許高效的裝卸，減少加工後的晶片對環境的暴露。這有助於將晶片的氧化或異物汙染降至最低。TEL 5BAO-200是一款可靠且高效的快速散熱處理器,旨在滿足最高的行業標準。它提供了最新的先進的熱處理技術，具有精確的溫度控制，快速的加熱和冷卻時間，以及先進的數字氣流控制。WAFERMASTERS 5BAO-200具有高質量的工程和堅固的結構，非常適合擴散、氧化和氮化等應用。