二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9375003 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200快速熱處理器（RTP）是一種前沿設備,設計用於在化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）、濺射、氧化、退火、清潔和各種其他過程等廣泛應用中快速準確地處理晶片。TEL 5BAO-200能夠在短短30秒內快速處理從室溫低到900°C的晶片。此外,此RTP還具有一個自我診斷和控制設備,以確保任何過程都能獲得優異的效果。WAFERMASTERS 5BAO-200利用氣動控制的腔室加熱器來高效快速地加熱多個晶片。此RTP采用先進的仿真技術和尖端的3-D建模技術構建,可創建一個加熱腔室,一次可容納多達200個晶圓,直徑在4到6英寸之間。5BAO-200配有三個獨立的質量流量比例控制系統,並具有集成的PID控制功能,能夠非常精確地設置定時和溫度。此外，TOKYO ELECTRON 5BAO-200的設計具有優異的性能和便利性，具有多種安全功能，包括緊急停止功能和多種備用加熱系統。它由優越的材料和組件構成,這些材料和組件設計用於處理高功率劑量,從而創造出耐用且堅固的產品。此外,TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200包括一個獨特的非接觸式晶片加載單元,可快速縮短循環時間並提高吞吐量。除了出色的功能外,TEL 5BAO-200還提供直觀的控制界面以及遠程功能,可用於機器的日常維護和管理。最後，它比同類系統能效高，耗電量少，降低成本，促進可持續性。總體而言,WAFERMASTERS 5BAO-200快速散熱處理器是一款一流的設備,具有創新功能,使其成為業界的最佳選擇。它高效高效地為晶片提供快速、精確的熱處理，非常適合CVD、PVD、濺射、氧化、退火和清潔等眾多應用。