二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9144808 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP是半導體制造中用於晶圓加工的先進快速熱處理器。它擁有獲得專利的連續快速熱處理（RTP）技術,使其能夠在大量材料和基板上提供高精度熱處理性能。TEL SRTF200-LP是一種溫度範圍在-25°C至1600°C的單卷載波系統，適用於多種工藝參數。它有一個獨特的旋轉快門設計，在熱過程中交換晶片和高達15°C/秒的快速溫度斜坡，給它一個快速的熱過程溶液一樣沒有其他。它還配備了WaferVisionTM，這是一個先進的視覺系統，允許在晶圓傳輸過程中精確對準晶圓，在動態過程步驟中進行視覺監控。WAFERMASTERS SRTF200-LP還具有多種可選模塊,可以添加這些模塊以根據客戶的特定流程需求定制系統。其中包括用於DEP、PECVD、CVD、ALD等層狀材料加工的反應堆模塊；用於將晶片提升到1200°C以上溫度的敏感器加熱器；一個石英機架，用於接收來自室內真空裝載臂的晶片；以及用於精確晶片加載和定位的嵌入式激光幹涉儀。TOKYO ELECTRON SRTF200-LP具有靈活性和高精度的熱工藝控制功能,可實現完美的工藝對準和可重復性,同時還可輕松集成到高度自動化的系統中。它是需要精確、高效和可靠熱處理的高科技行業的理想解決方案。