二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9210339 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP是為滿足半導體器件制造需求而設計的快速熱處理器（RTP）。它提供了高流程可重復性和卓越的流程控制功能,使其成為各種生產環境中客戶的有效解決方案。TEL SRTF200-LP是一款LED燈型RTP，配備了直接驅動的大功率LED燈。LED燈具有寬廣的工作波長範圍和高均勻性,即使在較低的溫度下也能更快地熱處理晶片。該燈具有出色的光學特性，能夠對處理時間進行嚴格控制，確保盡可能高的精度。為了優化溫度均勻性，實現快速加熱和冷卻時間，WAFERMASTERS SRTF200-LP配備了基於Peltier元素的冷卻設備。這種冷卻系統有助於最大限度地提高整個晶圓溫度曲線的均勻性，從而產生均勻且可重復的結果。SRTF200-LP還配備了SIEC-ON觸摸屏界面,便於設備設置和操作。TOKYO ELECTRON SRTF200-LP配備了內置的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）機，可在晶圓表面上沈積各種材料。此工具提供了比標準CVD工藝更高的均勻性和更高的沈積速率。此外，其緊湊螺旋紅外光源（CHIRS）資產提供了比標準窄線紅外光源更高的沈積溫度。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP還包括一個原位晶圓測量模型，允許精確表征過程穩定性。這種測量設備帶有多種分析功能，包括光譜、X射線掃描分析、掃描電子顯微鏡。除了這些功能外,TEL SRTF200-LP還提供機器控制選項,包括進程狀態監視和數據日誌記錄。此RTP還具有多種安全功能,確保安全運行。為了保持最佳性能,WAFERMASTERS SRTF200-LP具有內置的過程監控系統,可根據產品壽命和過程時間的影響自動調整溫度配置文件。總體而言,SRTF200-LP是一款出色的快速散熱處理器,可提供可靠的性能和出色的過程控制。其高效的LED燈、卓越的溫度均勻性、易於安裝的單元以及內置的PECVD和CHIRS系統,使其成為客戶在各種生產環境中的理想選擇。