二手 ULVAC / RIKO MILA-5000 #9357190 待售

ULVAC/RIKO MILA-5000是快速熱處理器（RTP）。它是為基板快速熱處理而設計的一種工具，如半導體晶圓、燃料電池、光伏和顯示器。RIKO MILA-5000能夠實現高溫處理，具有廣泛的溫度和加熱速率。與其他系統相比,它能夠在形狀不均勻的基板上保持精確的溫度範圍和均勻的加熱速度,運行時間更短,足跡更小。ULVAC MILA-5000可以在空氣中達到高達1000 °C的溫度，或者使用惰性氣體大氣時達到更高的溫度。MILA-5000配備了強大、高效的加熱設備，利用超小型、高功率感應加熱線圈，能夠提供+/-2°C範圍內基板的溫度均勻性。該系統允許以比傳統系統更快的速度達到更高的溫度，而不需要額外的加熱元件。該裝置還配備了一個獨特的控制機器，用於精確控制溫度剖面----這些控制系統允許根據所處理基板的均勻性要求定制溫度剖面。ULVAC/RIKO MILA-5000是一個完整的工具,占地面積很小,主機箱外部的組件最少,功耗低。它設計用於快速循環，溫度在幾毫秒內達到1000 °C。其結構為長期加工提供了良好的溫度穩定性，溫度均勻度為+/-2°C。它還能夠處理大的基板--高達300毫米--壓力高達0.4Mpa，用於較高的溫度或惰性氣體大氣處理。此外,此資產可以提供非常高質量的薄膜,並具有全面的可追蹤性、數據記錄和安全功能,以確保過程的一致性和可靠性。RIKO MILA-5000能夠處理各種基材材料，如矽片、玻璃和金屬、陶瓷等特種材料。其控制模型可以監測加工的溫度、壓力、氣體流量等各種參數。它還提供了廣泛的可自定義參數，如溫度斜坡速率、壓力、循環速率和大氣選擇。設備還配備了定制界面，允許對參數進行精確和用戶友好的控制。這使得它成為氧化、退火、擴散等應用的絕佳選擇。此外，ULVAC MILA-5000有一個全面的技術支持系統作為後盾，包括維護和校準服務，以確保該單位繼續以最高性能運行。