二手 ULVAC RTA-0208S #9107274 待售

ULVAC RTA-0208S是一種快速熱處理器（RTP）設備,其設計允許用戶在單個沈積過程中處理各種類型的晶圓材料。該系統結合氮氣和鹵氣，以提供均勻熱分布和精確溫度控制的快速熱處理（RTP）。8英寸容量大,RTA-0208S能夠快速處理多種尺寸的晶片。該RTP單元配備了20-1100 °C的腔室溫度，以及有助於確保均勻處理溫度的三點溫度傾斜補償單元。ULVAC RTA-0208S的主要特點之一是具有高溫性能。它能夠達到超過1000 °C的峰值溫度，非常適合快速熱退火（RTA）和快速熱反應（RTR）等強烈過程。這個RTP單元還提供了液氮冷卻機，幫助防止晶片過熱和損壞微妙的元素。此外，可旋轉的氣體入口工具有助於將氣體均勻地分布在晶片上，石英液氮密封有助於防止氮氣逸出進入腔室。RTA-0208S還包括一個多步驟編程平臺,它允許用戶創建和管理多個加熱、保持和冷卻步驟。這種編程功能還使用戶能夠根據正在處理的晶片的各種沈積特性優化其熱處理。此外,此資產還配備了帶有直接數據輸入功能的直觀觸摸面板顯示屏,以及提供分步操作指導的實時數據顯示模型。最後，ULVAC RTA-0208S包括一個在線光發射光譜儀（OES），幫助監測沈積過程中晶圓特性的波動。此功能可確保以最佳的精度和安全性完成過程。此外，OES監測儀可用於監測一系列參數，例如氧氣和氫氣濃度。這有助於確保晶圓溫度和成分保持在所需的範圍內。總體而言,RTA-0208S是一款具有許多有用功能的快速散熱處理器。其高溫能力、液氮冷卻設備和多步編程能力使其非常適合各種晶圓加工應用。此外，它的實時數據顯示和在線OES監測系統使它成為那些希望確保其熱處理過程的準確性和安全性的人的絕佳選擇。