二手 ULVAC RTA-6000 #9055548 待售

ULVAC RTA-6000
ID: 9055548
優質的: 2010
Rapid thermal annealing system, 2010 vintage.
ULVAC RTA-6000是為各種高通量下遊處理應用而設計的快速熱處理器。它具有高質量的熱處理能力,能夠以優異的可靠性和可重復性生產高精度微電子元件。RTA-6000包括多種功能,以確保精確控制溫度、時間和壓力。其高頻脈沖技術調制允許樣品快速加熱和冷卻,同時保持高度可重復的熱均勻性。結果是在1°C的加熱區內溫度均勻性。ULVAC RTA-6000是一種用於晶片快速熱處理的溫度控制熱處理器。它有一個集成的腔室和敏感器技術,用於為各種工藝和材料創造所需的熱環境。該設備采用加熱區溫度測量系統,以確保嚴格的溫度控制和一致的重復結果。連續流動的燃氣裝置允許在高達1100 °C的溫度下保持一致和穩定的加熱環境。該機包括一系列過程控制系統和實時數據采集和分析等監控功能。RTA-6000可用於監測產品參數,如電阻率、擴散、氧化、氮化、退火等。此外,該工具的集成過程控制系統還提供數據記錄和廣泛的報告功能。此外,集成過程控制資產具有高效率和低溫漂移過程控制系統,以確保過程的可重復性和可重復性。該模型還具有遠程操作和監視的可訪問性。設備可安裝內置以太網或RS 232接口,用於通信和控制。這使用戶能夠靈活地從遠程位置控制系統,同時從自己的辦公室或家庭的舒適度監控過程。ULVAC RTA-6000快速熱處理器是高精度機械和電氣元件大批量生產的絕佳選擇。其先進的過程控制技術和廣泛的功能確保了快速、可靠和可重復的熱過程,以實現一致的最終產品質量。
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