二手 ULVAC RTA-6000 #9152945 待售

ULVAC RTA-6000是一種高端快速熱處理器,能夠通過使用超高速石英加熱元件提供精確、可重復和可靠的溫度性能。該裝置非常適合在廣泛的過程中快速熱處理，如化學氣相沈積、物理氣相沈積和快速熱退火。RTA-6000具有強大的真空室，由高效渦輪分子泵控制，能夠達到極高的真空，汙染最小。此外，真空室采用超短石英加熱元件，允許快速、精確和可重復的溫度控制。由於其優越的溫度分布性能，該裝置非常適合產生均勻的溫度梯度，使其遠遠優於普通的爐基退火工藝。此外，ULVAC RTA-6000提供了高水平的過程控制和監測能力。它配備了可以設置為自動監控和優化工藝參數的高級控制器，如時間、溫度、壓力和真空水平。這確保了溫度在任何時候都可以在非常狹窄的範圍內進行控制，從而允許在常規退火過程中無法達到的精確和可重復的結果。RTA-6000還包括提高安全性和減少汙染的功能。它配備了綜合化學氣相沈積系統，確保腔室不受汙染物汙染。此外，強大的渦輪分子泵允許極其快速的泵降循環，從而最大限度地減少暴露於危險蒸氣的時間。總體而言，ULVAC RTA-6000是廣泛加工應用的理想選擇，如化學氣相沈積、物理氣相沈積和快速熱退火。其精確的溫度控制能力，加上其安全特性，使其成為那些需要風險最小的可重復熱處理的人的絕佳選擇。