二手 UNITEMP RTP-1000-150 #293642647 待售

UNITEMP RTP-1000-150是一種快速熱處理器（RTP），旨在為晶圓提供可靠、可重復和精確的熱處理。RTP-1000-150是一個單晶圓工藝室，允許在半導體制造過程中快速和精確的溫度控制。UNITEMP RTP-1000-150能夠處理直徑不超過4英寸的晶圓,溫度精度為0.1°C。流程配方通過用戶友好的圖形用戶界面創建,並存儲在內部硬盤驅動器中。該設備采用八點斜坡掃描技術，能夠對每個晶片進行嚴格的過程控制和可重復的結果。腔室內部加熱至1250 °C的最高溫度，與氮、氙和氦兼容。RTP-1000-150是為安全而設計的，具有紅外安全互鎖機構和止回閥，以確保在緊急情況下的安全殼。該系統還具有一個泄漏斷裂閥，以幫助調節單元壓力和避免從腔室泄漏。UNITEMP RTP-1000-150持續監測腔室壓力和溫度，並可設置為報告任何偏離預定限制的情況。RTP-1000-150是為促進易用性而設計的,具有直觀的用戶界面和集成的冷卻器,以確保每個晶圓都能快速冷卻。該工具設計可靠，不銹鋼部件和整體石英腔室。密封的不銹鋼加熱元件保證了均勻徹底的熱過程。UNITEMP RTP-1000-150配有各種配件和選項，旨在確保最大程度的靈活性和便利。其中包括自動晶圓傳輸資產、條形碼讀取器以及將處理配方導出到外部控制器的選項。該型號還與可選的排氣控制器兼容，允許在處理過程中快速回填和疏散腔室。RTP-1000-150是一款先進的快速熱處理器,可提供高精度、可重復的處理結果。UNITEMP RTP-1000-150具有高達1250°C和0.1°C的溫度精度,可提供靈活和最佳的半導體生產能力。