二手 WAFERMASTERS SAO 302LP #293668218 待售

WAFERMASTERS SAO 302LP是一種快速熱處理器（RTP）。它旨在提供各種工業應用中的精確溫度控制和溫度均勻性。該設備是一系列晶圓工藝的絕佳選擇，包括發光二極管（LED）生產、光伏（PV）器件生產和熱退火。SAO 302LP能夠以高達每秒500°C的速度快速可靠地上升到3,000°C的溫度。它配備了先進的溫度控制器，提供對0.01 °C的精確控制。此外，該系統能夠從晶圓到晶圓高度均勻且可重復到0.3°C以內。這種高精度使得WAFERMASTERS SAO 302LP一系列熱過程的理想選擇。該單元包括一個針對蝕刻和擴散過程進行優化的不銹鋼真空室。腔室由堅固的框架支撐，並配有高效氧氣洗滌器，以清除殘留氣體。為方便起見，室蓋可以很容易地從前板打開和關閉。SAO 302LP機設計安全,操作方便.它具有多種安全功能，包括過溫保護和過壓保護。該工具還能夠提供關於資產性能的反饋，例如溫度均勻性和溫度精度，以及一些額外的診斷能力。WAFERMASTERS SAO 302LP是一種理想的快速熱處理器,適用於各種精確、受控的工業加工。它結合了速度、準確性和可靠性,為各種熱過程提供了高效、經濟高效的解決方案。該型號具有強大的設計、精確的溫度控制和眾多的安全功能,是LED和光伏設備生產、熱退火等工業應用的理想選擇。