二手 AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200 #9360790 待售

AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200
ID: 9360790
晶圓大小: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8".
AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200是一種基於等離子體的反應器,旨在控制和操縱各種氣體的特性。它是一個高性能反應堆,能夠產生廣泛的高能粒子和單線態氧,使其成為各種研究和工業應用的誘人選擇。MPS-200是一種適合實驗室使用的低壓、中功率、直流電(DC)操作的反應堆。它配備了電弧源和陽極電源兩個獨立的電源系統;既可調節又可單獨調節。弧源電源可產生高達200安培的交流電(AC),並包含手動和數字調整的規定,以達到所需的工作條件。陽極電源可以設置到200伏和50安培(DC),並包含調整以調整陽極和O原子電流。內部AGS等離子體系統MPS-200采用三級擴散泵,氣體流量高達每分鐘12升。前兩個階段旨在確保進氣以均勻、均勻的方式進入系統。第三級由高溫加熱線圈組成,以保證反應堆加壓。整個加壓和氣流配置可以根據反應物材料和溫度和壓力的實驗要求進行調整。MPS-200有一系列附件,包括各種探頭、采樣器、擋板和夾具,以控制系統的設計和操作。它還包含一個用於捕獲揮發性副產品的冷陷阱和一個用於分離熱物質的加熱鏡。此外,還設計了AGS等離子體系統MPS-200,以接受各種類型的取樣和光譜分析連接。安裝和使用MPS-200非常簡單,具有用戶友好的控件和用於溫度、壓力和電源讀數的數字顯示器。AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200還具有用於遠程監控和數據采集的串行端口,以及包括溫度限制開關、壓力限制開關和過載保護開關在內的安全功能。總體而言,MPS-200是一個強大而可靠的實驗室反應堆,為用戶提供各種氣體處理操作的精確控制和靈活性。該系統的強大的附件和先進的安全功能進一步補充了該系統的能力,確保AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200隨時可以面對它可能遇到的任何挑戰。總之,它是在任何既定的研究或工業環境中擁有的極為寶貴的工具。
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