二手 AIXTRON 2000 HT #9056239 待售

AIXTRON 2000 HT
製造商
AIXTRON
模型
2000 HT
ID: 9056239
Reactors, MOCVD.
AIXTRON 2000 HT是一種氫基低壓金屬-有機氣相外延(LP-MOVPE)反應器。這類反應器用於生產單晶半導體材料。2000 HT采用先進的兩級工藝,將金屬有機前體以有機金屬化合物的形式與熱濃縮的環境壓力相結合,生成薄結晶層。這兩個階段的過程使得晶體層組成、厚度和形狀的控制和均勻性得以產生。AIXTRON 2000 HT設計有一個石英圓柱體腔室,裏面充滿了氫氣、惰性氣體(氙氣和氮氣)的氣體混合物,在過程中被主動清除。這一過程有助於保持清潔、控制良好的晶體生長氣氛。2000 HT能夠在100°C-100°C的溫度下運行,同時保持異常的外延層均勻性、可控的增長率和高質量的增長結果。AIXTRON 2000 HT支持許多選項,例如可編程基板支架、熱墻系統(用於完成快速溫度下降速度),以及使用激光剖面儀來實現外延層的嚴格掃描控制。反應堆還支持先進的機器人加載系統,該系統可以控制芯片傳輸、晶片負載,並確定精確的晶片位置。這可以簡化控制參數的優化。2000 HT裝在一個總尺寸約為0.4 m x 1.0 m、最大高度為1.2 m的鋼架櫃中。反應堆通過低壓模擬/數字度控制連接到1.5 KW水/風冷電源。AIXTRON 2000 HT擁有與OPC/Giass 3.2.1兼容的電力電子元件、軟件和計算機系統。該系統還與Xtal-C就座記錄系統兼容,其記錄速率高達20Hz。2000 HT是一種用途廣泛、可靠、經濟高效的設備,用於許多研究和生產設施。反應堆的運行也由於該裝置提供的眾多安全特性而既安全又高效。AIXTRON 2000 HT是任何尋找適當可靠的半導體材料合成裝置的機構的絕佳選擇。
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