二手 AIXTRON 2000 HT #9408163 待售
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ID: 9408163
優質的: 1997
MOCVD System
Nitride (GaN)
Planetary reactor
Gas foil rotation
Throughput: 7"x2"
EBARA Dry pump
PC Controller
Source configuration:
TMG
TMA
Cp2MG
TEG
TMI
TMSb
1997 vintage.
AIXTRON 2000 HT是一種先進的高溫CVD反應器，設計用於多種材料的沈積。它有一個先進的多區真空室，能夠達到高達1000攝氏度的溫度。2000 HT用途廣泛,可用於多種CVD工藝,包括裸晶片沈積、保形塗層等。它還對每個區域都有獨立的區域控制和溫度控制。AIXTRON 2000 HT由強大的電子-回旋共振（ECR）等離子體源供電。這個強大的源代碼提供了良好的均勻性和可重復性，同時也給了腔室極快的啟動時間。該腔室還能夠利用氫氣產生等離子體，這對於碳化矽沈積等電子應用很重要。2000 HT還配備了多種可用於材料沈積和回收的電子束源。AIXTRON 2000 HT還具有液壓裝載機，可安全高效地裝卸晶圓。這對於需要大量晶片或需要頻繁更換晶片的應用尤其有用。該設備還具有多種安全功能，包括高壓和低壓聯鎖和壓力監測，以防止室內意外的壓力超載。2000 HT還提供了廣泛的附件和軟件支持。這些選項擴大了系統的能力，使反應堆在不同的應用和過程中更容易利用。該軟件還允許用戶輕松監控和控制系統運行，包括等離子體源和腔室壓力，以及每個區域的溫度。總體而言,AIXTRON 2000 HT是一個功能強大、用途廣泛且可靠的CVD單元,非常適合各種CVD過程。它是一種易於使用和維護的機器，其廣泛的可用軟件和選項使它更加方便用戶和能幹。
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