二手 AIXTRON 2400 G2 #9018984 待售

製造商
AIXTRON
模型
2400 G2
ID: 9018984
GaAr/InP Planetary reactor systems Set up to run Red LED's Configured for 8x3"(15x2") wafers Source configuration: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, TMAl-2, TMIn-1, TMIn-2,Cp2Mg-1 Currently deinstalled 1998 vintage.
AIXTRON 2400 G2是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於生產石墨烯、半導體材料和其他納米材料。它是一個單晶圓反應堆,在800 °C至1300 °C的溫度下運行。2400 G2由主腔室組成,加熱至選定溫度。該腔室被連接到真空泵的真空容器所包圍。該室由兩個反應物氣源組成,與反應物及其前體一起泵入該室。在室內,反應物會在受控的溫度和壓力條件下與底物(要塗覆的材料)發生反應。AIXTRON 2400 G2配備了送電設備,並內置了脈沖等離子體沈積系統(PPDS),鼓勵材料隨等離子體能量生長。這有助於實現材料的均勻沈積。此外,該裝置還具有控制不同種類材料的反應物氣體沈積速率的能力。腔室是完全自動化的,具有溫度和壓力傳感器,用於監測和維持氣體和基板溫度、腔室內部壓力以及用於沈積過程的氣體量。該機器還設計有安全功能,如自動關閉機制和過壓保護,以確保沈積過程中不會發生危險事件。最後,2400 G2配備了高效的控制工具,利用專用算法和圖形用戶界面。它具有內置的數據日誌記錄功能,可以使用不同的自動化級別操作。此外,該資產還包括基於軟件的分析工具,如光發射光譜學(OES)來分析沈積材料。這有助於為用戶獲得精確和可重復的結果。
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