二手 AIXTRON 2400G3 HT #9225627 待售
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AIXTRON 2400G3 HT反應堆是為太陽能/光伏市場生產的水平直列式薄膜沈積。它是專門為方便制造高質量、批量生產的太陽能電池而設計的。它采用先進的薄膜沈積技術,使雜質和聚矽層的有效網絡得以沈積。AIXTRON 2400 G3-HT Reactor具有先進的計算機控制(CPC)設備,該設備向各種工藝室發送信號,以便將均勻的薄膜沈積在大型基板上。它有四個加熱元件,非常精確,並提供精確的溫度設置,以確保一致的處理。2400 G3 HT反應堆上的工藝室具有自動工藝監控(APM)功能,用於在生產過程中維護工藝參數。先進的CPC代碼允許2400G3 HT反應器精確監控諸如薄膜厚度、沈積速率和溫度等參數。CPC代碼可確保薄膜沈積之間的可重復性,從而使產品具有一致的性能水平。CPC代碼還使AIXTRON 2400 G3 HT反應堆能夠對沈積參數進行調整,以適應不斷變化的制造要求。2400 G3-HT Reactor的設計目的是為浮區電池-FZC工藝執行各種工藝。此過程包括退火、氧化、雜質摻雜、磷加成、歐姆接觸和後鈍化層。先進的自動化過程監測(APM)系統使AIXTRON 2400G3 HT反應堆無需技術人員即可自動進行沈積過程。AIXTRON 2400 G3-HT Reactor包括三個可以單獨設置的工具集來處理不同的層。這使得2400 G3 HT反應堆可以在不同的過程之間輕松切換,而不必停止反應堆單元。還提供了一個完全集成、自動化和受控的激光輔助加工機,以提高沈積過程的準確性。2400G3 HT反應堆是生產高質量、量產太陽能電池的有力工具。其先進的沈積技術使均勻的薄膜能夠沈積在大型基板上。它的自動化過程監控工具可確保薄膜沈積與靈活處理工具之間的可重復性,從而方便地切換過程。AIXTRON 2400 G3 HT反應堆保證高質量和市場領先的太陽能電池。
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