二手 AIXTRON 2400G3 HT #9238884 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一種6英寸水平等離子增強化學氣相沈積（PECVD）工具，設計用於生產高溫半導體級薄膜器件。它是一個高效、多用途的高溫系統，在電介質、金屬、磁性和有機層的生產方面有著良好的記錄。AIXTRON 2400 G3-HT具有高通量、低庫珀開銷和優越精度的獨特組合,非常適合MEMS、薄膜太陽能電池和OLED生產中的大批量制造。2400 G3 HT配備了三臺先進的等離子體發電機，可實現優越、可重復和可重現的過程控制。該反應堆提供高達6英寸的半標準和HPF配方、一個額外的烘焙選項以及獲得專利的AIXOX-PREPEAK等離子體導流器。高達1000 °C的單晶片高溫能力提供了廣泛的可用沈積材料。反應堆的獨特軟啟動和軟暫停技術保證了整個晶片的均勻性和合規性，並消除了潛在的無粒子問題。2400 G3-HT還提供各種自動化工藝,如薄膜厚度、薄片電阻和反射率測量,以及用於優化和控制高溫沈積工藝的其他工具。高級診斷工具,包括光譜發射分析,有助於確定沈積參數,如厚度均勻性和工藝可重復性,以優化結果。此外，2400G3 HT允許應用高通量高溫工藝（THPTs），如單片處理、卷對卷和帶對帶處理，以及批處理和毯子處理。事實證明,這對於提高吞吐量極為有用。總體而言，AIXTRON 2400 G3 HT是生產高溫半導體級薄膜的理想系統。它結合了卓越的過程控制、高效和廣泛的能力範圍,幫助行業專家優化上市時間並降低成本。