二手 AIXTRON 2400G3 HT #9254484 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一種高溫3區感應耦合等離子體反應器。它設計用於先進的沈積過程，如氧化物、III-V化合物和金屬薄膜的生長。該反應堆具有獨特的三區布置，使其非常適合高溫過程。這三個區域包括：源室、熔爐和等離子體室。源室是過程中的第一步，將加熱的原料放置在石英crucibles中，然後引入真空室。當產生真空時，由於沒有空氣，室內會達到極高的溫度。源腔內溫度可達1800°C。其二是crucible stage，位於源室正下方。在這裏，材料被感應加熱熔融。然後在等離子體室中進一步加熱這種熔融材料。在這裏，溫度可以在750°C-2000°C之間，這取決於所使用的材料。等離子體室，是過程中的第三個也是最後一個階段。其中，等離子體是通過從外部源引入氣體而產生的。腔室還包含一個電感線圈，然後用來進一步提高等離子體的溫度。它還允許對基材進行加熱和預清洗，以確保它準備好接收沈積的材料。AIXTRON 2400 G3-HT反應堆比其他反應堆具有許多優勢。它具有很高的效率，因為它能夠達到比其他反應堆更高的溫度，這反過來又增加了沈積速率。它也是精確的，因為它能夠以很高的精度和均勻性沈積厚度很小的材料。此外，它具有成本效益，因為它比其他反應堆更快，從而降低了材料成本和人力成本。總體而言，2400 G3 HT是一種用途廣泛且可靠的反應堆，具有廣泛的工具和能力。它是各種沈積過程的完美解決方案，因為它能夠以比傳統反應堆更快的速度實現極高的溫度，而且精確度足以以高精度和均勻性沈積材料薄膜。