二手 AIXTRON 2400G3 HT #9254485 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一種高溫垂直渦流增強CVD反應器，用於塗覆各種基板，用於顯示和電子設備應用。該設備采用革命性的高溫沈積技術，采用熱墻襯裏和EK-氣源。AIXTRON 2400 G3-HT采用單蓋設計,可通過側面鉸鏈門輕松訪問系統。主要成分為石英反應物噴射器、反應室、底物加熱段和氣體廢氣。噴射器將原料氣體輸送到反應室中，反應室中的工藝溫度可從-10°C到1250 °C不等。氣體反應物反應形成所需的沈積化合物後，通過溫度控制的加熱段將它們輸送到基質上。加熱部分允許均勻的熱量分布。為了廢水管理和排放控制，排氣口裝有化學氣味洗滌器。2400 G3 HT專為可擴展性和靈活性而設計,允許廣泛應用程序的流程開發。該裝置的技術還實現了可擴展的低溫沈積過程，允許使用脈沖和連續氣體輸送來制造薄膜和大面積沈積。2400 G3-HT還配備了頂級安全衛生措施，包括安全氣體關閉、爆炸分流關閉和機器病毒過濾機。該工具與氮氣、氙氣、氧氣和其他環境友好型氣體兼容，使其非常適合廣泛的沈積。2400G3 HT對於那些尋找高溫沈積溶液的人來說是一個很好的解決方案。利用先進的技術和高效的氣體消耗，該資產提供了成功的工藝開發和沈積所需的可靠和可重復的結果。