二手 AIXTRON 2400G3 HT #9270060 待售

AIXTRON 2400G3 HT是由AIXTRON AG銷售的一種先進技術的閉合耦合淋浴頭（CCS）反應堆。它旨在提供高通量的薄膜沈積工藝，促進III-V半導體單晶膜的卓越生長。這種PECVD反應器適用於材料科學應用，如絕緣體上的結晶矽（SOI）和微機電系統（MEMS）。它具有幾個處理室的模塊化配置，如CCS室、兩個等離子體室、一個緩沖室和兩個處理管。位於集群工具中心的CCS腔室有一個6通多極CCS，過程氣體進入腔室中心，然後向其霧化的邊緣壁循環。這種噴頭設計使組件分布均勻，氣體均勻性極佳，提供了高水平的沈積速率再現性。在沈積過程結束時，快速溫度循環設備允許快速冷卻時間，以實現精確的層控制。在兩個相鄰的等離子體腔室中，使用微波（MW）或任何其他可用的等離子體電源產生功率。高溫高壓允許在大面積生產優質薄膜。設計用於安裝在兩個等離子體腔室上的兩個加工管用於基板裝卸，以及氣體分配到每個沈積腔室。AIXTRON 2400 G3-HT還提供了在CCS和兩個等離子體腔之間安裝的緩沖室。該室作為沈積過程的緩沖，有助於穩定系統條件，防止沈積速率波動。此外，緩沖室還可用作退火/冷卻室，以進一步使溫度和壓力均勻化。此外，2400 G3HT與先進的AIXTRON過程控制軟件、用於數據采集和沈積過程監測的軟件S一起交付。該單元的圖形用戶界面允許用戶實時設置所有參數，使機器變得人性化高效。