二手 AIXTRON 2400G3 HT #9395960 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一種高效、大面積、封閉籠式化學氣相沈積（CVD）反應器。該反應器適合在直徑達200毫米的晶圓上沈積各種材料，如金屬、氧化物和氮化物。它具有三室構型，具有最優反應堆構型的靈活性，包括：負載鎖定啟動室、工藝室和後處理室。主室設有一個垂直沈積過程區，並直接查看石英反應堆窗口，並附有一個快門，用於監測沈積過程。一個陶瓷塗層的淋浴頭從腔室加熱的下部延伸，用於分散反應物氣體，並在過程啟動和關閉時清除腔室。反應物氣體通過位於腔室側面的高純度、狹縫型氣體噴射器引入過程。AIXTRON 2400 G3-HT裝有兩個高科技溫度控制系統：一個熱電冷卻/加熱裝置，提供10°C至600°C的溫度控制和一個紅外輻射加熱系統。這與一個內部機械控制系統相結合，該系統可以旋轉晶圓架，在整個半徑較大的可加工晶圓直徑上提供均勻的加熱和冷卻。反應堆還具有高度的加工靈活性，易於安裝的插件為各種晶圓尺寸提供了靈活的生長條件。這些插件也可用於存在熱膨脹不匹配問題的基材。此外，射頻和直流電源提供了良好的工藝和沈積再現性。2400 G3 HT的設計考慮到安全性。它具有一個可沖洗和工藝容許的排氣軸，在真空下可靠的操作。氣體噴射器的設計是為了防止汙染和盡量減少過程氣體從主室的逸出。它還包括靜態鍵合和廣泛的接地，從而對粒子行為進行安全有效的控制。此外，反應堆采用互鎖和PLC系統來控制進入密室的通道，以確保人員安全。總體而言，AIXTRON 2400 G3 HT反應堆是工藝密集型應用的先進可靠解決方案。它的大面積配置允許金屬、氧化物和氮化物廣泛的晶圓應用，同時提供可靠的工藝監控和均勻的加熱和冷卻。此外,2400G3 HT的設計考慮了安全性和過程控制,提供了高級功能,如運動幹擾器和RF電源。