二手 AIXTRON 2600 G3 #9031068 待售

AIXTRON AIX 2600 G3是一個遠程等離子源反應堆。這種用於半導體和微電子生產的最先進的解決方案，旨在對包括矽、的、砷化的和其他III-V基材在內的各種材料進行高精度處理。它具有獲得專利的C2沈積技術，允許化合物在寒冷的環境中沈積在底物上。AIXTRON AIX 2600G3由許多組件組成：高真空室、工藝氣體設備、渦輪分子泵、電容器和射頻能量發生器。超高吸塵室采用不銹鋼制成，經ISO 5清潔認證。該工藝氣體系統由可用於從其他來源或一種氣體沈積材料的雙質量流量控制器控制。渦輪分子泵確保腔室的壓力保持在1 x 10-6和2 x 10-5 mbar之間。電容器是AIX 2600 G3最重要的部件；它儲存能量，然後以調節的方式釋放到反應堆源，允許工程師以精確的方式控制薄膜生長。最後，射頻能量發生器負責產生正弦高頻能量。所有這些組件都可以精確控制沈積過程,確保達到所需的薄膜厚度、均勻性、化學計量和純度。AIX 2600G3還具有高達每小時12個晶圓平臺的高吞吐量，使其成為一種經濟高效且可靠的生產工具。此外,該單元還具有一個便於過程控制的集成測量機。最後，AIXTRON AIX 2600 G3是一種先進的遠程等離子體源反應堆，旨在促進各種材料的沈積，用於半導體和微電子制造。其尖端部件，如其雙質量流量控制器、渦輪分子泵、電容器和射頻能量發生器，允許精確的過程控制，以達到理想的效果。此外,其高吞吐量和集成的測量工具使其成為高效可靠的生產工具。