二手 AIXTRON 2600 G3 #9299680 待售

AIXTRON 2600 G3是用於半導體和LED制造工藝薄膜沈積的最先進的反應器。它提供了一系列的創新功能，允許生產具有優越性能的大面積膠片。AIXTRON 2600G3能夠進行多種沈積技術，包括化學氣相沈積（CVD）和等離子體輔助CVD（PECVD）。最多可容納3座反應堆，使其適合多反應堆過程。該系統還具有廣泛的波長範圍和對先進納米結構沈積的精確波長控制。反應堆附有各種氣體輸入，允許量身定制的過程氣體流動以獲得最佳薄膜生長。三座反應堆設有單獨的加熱區，用於精確的基板加熱。該系統還提供基於AIXTRON專有的現代化PID方法的尖端自動調諧算法，以提高準確性和可重復性。2600 G3的腔室采用高度耐用的不銹鋼制成，以確保可靠性和清潔度。所有系統都是壓緊的，具有優異的無漏性能，所有部件都是耐溫的，允許長期穩定運行。該室還設計為便於出入和維護，設有中央檢修門和綜合清潔口。2600G3是最先進、用途最廣泛的薄膜沈積工具之一。它通過靈活的設計和尖端的特點提供了多種具有最佳工藝條件的沈積技術。它非常適合各種基材和在半導體制造中的應用。