二手 AIXTRON 2600G3 IC #9188592 待售

AIXTRON 2600G3 IC是來自AIXTRON的一種先進沈積工具，用於將高質量的薄膜材料沈積到基板上。該工具由真空室、反應室和源室組成。其設計特點是獲得專利的多線網格和提供無與倫比的均勻性和靈活性的氣體註入設備。工具的主要部件是真空室，用於從10-7 Torr創建真空。腔室的底壓小於10-9托。該室配有調節窗和安全罩。這是用來確保腔室在各種壓力和溫度範圍內操作安全。2600G3 IC的反應室是具有6「寬乘24」高石英窗的垂直反應器室。它能夠達到高達2000 °C的溫度，並得到高精度運動控制器的支持，以便在加工過程中精確定位基板。這也得益於集成的鏡面-註入屏蔽系統，它為基板提供了極其精確的運動控制。該室還有一個特殊的氣體噴射裝置，提供均勻的氣體噴射，以提高沈積膜的質量。AIXTRON 2600G3 IC的源室是材料最初準備沈積的地方。這個腔室的溫度範圍為-50 °C至1000 °C，可以通過工具的高級軟件進行控制和監控。該室還配備了專門設計的多線柵格機，提供高質量、可復制的薄膜生長。總體而言,2600G3 IC是一種高度先進的沈積工具,可提供無與倫比的膠片均勻性、靈活性和高質量的膠片。它是多種薄膜沈積應用的理想選擇，包括氧化物、金屬和其他薄膜材料的沈積。