二手 AIXTRON AIX 200 / 4RFS #293636224 待售

AIXTRON AIX 200 / 4RFS
製造商
AIXTRON
模型
AIX 200 / 4RFS
ID: 293636224
晶圓大小: 2"
MOCVD Systems, 2" (3) Wafers.
AIXTRON AIX 200/ 4RFS反應堆是由AIXTRON GmbH開發的高度精密的設備。它被設計用於生產半導體晶圓和其他基於復合材料的光電元件。AIX 200/ 4RFS系統基於最先進的鐘罐型單元,將反應物註入鐘罐。然後用高達4,000 °C的氣體燃燒將反應物加熱到所需溫度。一旦達到所需溫度,機器就會在反應室內產生高真空。這允許反應物在盡可能低的壓力下反應,從而為化學反應提供了最佳環境。反應溫度和壓力可以針對任何給定的反應過程進行精確的控制和優化。為確保高質量和均勻晶片,AIXTRON AIX 200/ 4RFS工具能夠輸送各種原料材料,如矽烷、氫氣、膦和其他類型的前體氣體。反應堆還能夠快速熱退火,在此過程中晶圓暴露在高溫下,以便於半導體材料的重新分布和優化。AIX 200/ 4RFS資產還具有集成的光學監控模型,可在生產運行期間提供無與倫比的精度。光學監測設備能夠檢測任何不希望得到的材料或反應副產物,並能實時向操作員發出這些問題的警報。這使操作員能夠快速調整流程,以確保最高質量的結果。此外,AIXTRON AIX 200/ 4RFS反應堆的設計考慮到了最大的安全性和安全性。反應堆系統采用計算機控制的可編程鎖定裝置,以確保沒有未經授權進入機器。該工具還設計有緊急關閉資產,在發生危險情況時自動關閉反應堆。AIX 200/ 4RFS反應堆是一個革命性的模型,提供一流的性能,安全性和可靠性。其精確控制反應溫度和壓力的能力,以及集成的光學監測設備,使其成為生產半導體晶片和其他光電元件的理想之選。憑借AIXTRON AIX 200/ 4RFS反應堆,AIXTRON GmbH再次展示了其為客戶提供優質解決方案的承諾。
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