二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L #293651622 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L是一種高度通用的混合工具（HT）設備解決方案,可為用戶提供出色的硬件和精密軟件的獨特組合。該系統可用於包括物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）在內的各種半導體外延過程。憑借其先進的設計,AIX 2400 G3 CT-L旨在提高可靠性和提高生產效率。AIX 2400 G3 HT-L是針對所有III-V-Semiconductor、Silicon的和復合半導體材料以及Silicon的經過時間測試的宇宙。其高均勻性和增強的吞吐量性能使其非常適合當今的半導體外延要求。該裝置還以高沈積速率支持沈積，並重復提升和更換基片晶片。AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L配備了先進的基於AI的控制機器，用戶可以設置各種可重復和可編程的序列來控制過程參數。以及在連續模式和步進模式下操作的能力。這種混合型處理多種材料，如III-V半導體、Silicon Germanium和復合半導體材料以及Silicon。AIX 2400 G3 HT-L包括一個獨特的多源持有者,允許最多6個源,這些源可以按精確、逐步的順序進行控制。這進一步加快了設備的生產時間,提高了晶圓級的均勻性。該工具的版本還提供了一個集成的快速熱處理（RTP）單元，用於半導體材料的快速熱退火。此外，AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L支持最先進的內聯和異地計量。現場計量探針能有效地確定薄膜沈積質量、厚度、結晶度和表面粗糙度。這樣可以實現較高的過程控制、一致性和更高的吞吐量性能。AIX 2400 G3 HT-L是生產先進半導體器件的最佳選擇，是現有系統的絕佳替代品。它提供可靠、快速的操作、高效的過程控制和卓越的過程質量。