二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #293725009 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一種CVD反應器，設計用於高k介電、半導體和Ultra-thin薄膜的沈積。AIXTRON AIX 2400 G3/HT具有可提供寬廣溫度範圍和低熱質量環境的工藝室,可實現快速提升時間和高通量。它具有較大的沈積面積，可容納多達30種標準基質，最大200毫米。它具有高功率射頻發電機，可提供高達15kW的射頻功率和高達100毫升Torr（mTorr）的壓力。它有一個高端溫度控制器，可以精確控制高達800°C的溫度。它還具有自動摻雜劑濃度監測器。AIX 2400 G3HT采用了專利的內襯流式反應器設計，提供了優越的工藝均勻性、優異的沈積速率、降低的顆粒生成和提高的底物均勻性。流動反應堆從反應堆頂部提供穩定的反應性氣體源。源氣體通過襯裏送入，並在混合室中混合，以消除硫汙染，提供更好的材料劑量控制。AIX 2400 G3/HT的內飾配備了高阻熱鋁元件和特殊絕緣。該工藝室由耐用的不銹鋼制成，以確保使用壽命長。AIXTRON AIX 2400 G3HT具有先進的SPC和過程控制功能,為用戶提供了一個簡單快速的優化過程。在端點監控模式下，AIXTRON AIX 2400 G3/HT可以使用離線光譜測試儀執行自動監控過程。最後,AIX 2400 G3 HT符合SEMI E84和RoHS標準。它具有強大的設計功能組合,可提供業界領先的材料工藝性能、一致性和可重復性。