二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9243847 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT是為高通量外延沈積過程而設計的多室廣域石英反應器。其核心技術，高溫、大容量、石英管基設備，使其極具生產商用級、納米結構化薄膜器件的能力。AIXTRON AIX 2400 G3/HT是當今已有的最先進的反應堆之一，極適合半導體和光電應用，在有機薄膜技術和廣域顯示制造方面都有著良好的記錄。AIX 2400 G3 HT由兩個獨立的、相對的過程室組成。第一個腔室是源腔室，它包含一個單獨絕緣的供體源、一個熱控制的熔爐以及一個已關閉的基板支架，其位置可以細微調整以確保在加工過程中沈積的均勻性。第二室是反應室，它裝有獨立加熱的石英管，以氣體箱中的氣態物質為原料。AIX 2400 G3/HT利用了一系列標準的前體釋放技術，包括動態分裂區和脈沖分裂區註入，以及一系列先前建立的薄膜沈積工藝，包括原子層沈積（ALD）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、熱絲輔助化學氣相沈積（熱-Fil）。此外，AIXTRON AIX 2400 G3 HT可容納多種設備結構，從高移動性復合半導體通道到薄膜氧化物結構和多層堆棧。AIXTRON AIX 2400 G3/HT為用戶提供了通過位於源與反應室接口的集成熱管理系統控制催化劑環境溫度的靈活性。此外，AIX 2400 G3 HT包括一系列高分辨率分析探針，允許用戶實時動態研究其過程演變。AIX 2400 G3/HT旨在以經濟高效的方式持續提供卓越的工藝質量和產品吞吐量。它內置的安全單元監控整個機器的操作參數，使過程保持在預定義的範圍內，防止意外的過程偏差。此外,可以將AIXTRON AIX 2400 G3 HT編程為同時運行宏觀和微觀規模的過程,從而使用戶能夠獲得前所未有的沈積過程過程控制級別。AIXTRON AIX 2400 G3/HT被設計為一種極其強大和通用的工具。它將先進的技術和工藝控制相結合，使其成為研究和工業應用的首選。AIX 2400 G3 HT具備全面的功能,可確保用戶能夠快速、經濟高效地生產出可靠、高質量的設備。