二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9287470 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器。用於為微電子、光電工業沈積GaN、GaAs等半導體材料的超薄層。該反應堆采用水平管（HT） MOCVD配置，其中生長腔水平安裝，便於維護和改進過程控制。它有一個全自動的升降機設備，便於進入加工室和運輸晶片和基材。AIXTRON AIX 2400 G3/HT配備了加熱至1000 °C的石英超雪蓋敏感器和具有CAE掃描能力的溫度控制系統。它是為了滿足III-V化合物半導體材料如氮化氙和砷化的高速率沈積過程要求而設計的。其沈積均勻性極好，能沈積5-200 nm範圍內的層。AIX 2400 G3 HT還能夠容納各種類型的液體輸送系統，用於輸送液體前體，如摻雜劑和鈍化劑。反應堆使用氮氣等快速溶解的載氣，保證前體均勻、持續穩定的流動。這樣就能夠穩定的過程控制和一致的薄膜質量，減少前體的浪費。AIX 2400 G3/HT還具有獨特的排氣裝置以降低汙染水平。這臺排氣機包括一個額外的氣體洗滌器和一個過濾工具，用於從腔室中清除有害物質。這使得生長室內的環境安全清潔，並提供穩定的過程控制。AIXTRON AIX 2400 G3 HT是生產各種光電和微電子器件的高效、可靠、具有成本效益的反應堆。它具有堅固的設計,能夠在制造環境中穩定可靠地運行。憑借先進的工藝控制和監控能力，適合生產優質產品。