二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9352602 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT（Highly Tempered）是一種高性能的多用途反應器，設計用於半導體工業中的柔性薄膜沈積和先進的校準過程。它具有高度堅固的設計，具有寬敞的八室配置和優化的腔室閥。AIXTRON AIX 2400 G3/HT反應堆的主要部件包括工藝室、氣體入口、氣體出口、沈積板、工藝界面和RFG基板支架。每個腔室設計有一個個性化的鎖存設備，提供一個安全和可重復的連接點，並允許用戶快速裝卸基板。加工室由板載熱區系統加熱，通過PID控制器控制。AIX 2400 G3 HT反應堆氣體入口采用快速連接設計，每種氣體都有個性化的球閥。所有嵌入式部件都用不銹鋼文丘裏噴嘴連接，以保持工藝清潔高效。該反應堆還具有全面的可編程自動清潔功能，以便在改變配方或校準時對工藝室進行可靠清潔。腔室沈積板提供了大量載體，便於薄膜在基板上高效沈積。RFG基板支架是為提高加熱均勻性而設計的，適用於精確生長。此外，反應堆還包括一個自動化工藝接口和一個輸出功率為1 MHz-13.56 MHz的強大射頻發生器。AIX 2400 G3/HT反應堆配備了安全功能來保護機組，包括一臺超溫監測機和一個立即停止進程的緊急停止按鈕。它還具有高速、高度敏感的軟件，能夠實時監控和調整參數。總體而言，AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一種多功能反應堆，旨在滿足半導體行業的需求。該反應堆具有創新的設計、堅固的結構和全面的安全特性，是高可靠性、高性能沈積作業的理想選擇。