二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9300885 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HTL是先進的有機金屬化學氣相沈積（OMCVD）反應器設備，用於先進材料的高通量沈積。由於其低消耗的設計和最小的停機時間要求,它被設計用於高可靠性和低維護。反應堆由幾個部件組成，包括一個開放式室反應堆、一個熱壁石英反應堆、一個6向定心裝置和一個計算機控制的材料引進系統。此外,AIX 2400 G3 HTL還包括電源、安全系統和高真空系統。AIXTRON AIX 2400 G3 HTL內的開室反應器設計為以200-1000 mL的容器容量運行，由不銹鋼構成，具有優異的耐腐蝕性和長期耐用性。該反應器還利用熱壁石英技術，旨在提高沈積層生產的質量和均勻性。六向定心裝置可以方便地定位和設置，用於精確的晶圓位置控制。此功能可提高總體生產效率,提高生產過程的一致性和可重復性。除了開室反應堆外，AIX 2400 G3 HTL還配備了材料引進裝置。這臺機器的設計是為了安全地向腔室供應原料.材料引進工具設計有加熱的石英熔爐以及流量控制器和熱電偶，可以精確控制流量、溫度和壓力。計算機控制的材料介紹資產在整個沈積過程中提供了高精度，減少了出錯的機會。AIXTRON AIX 2400 G3 HTL還包括電源和一系列附加的安全系統，包括集成氣體預警模型、惰性氣體凈化以盡量減少氧化、緊急關機和排氣程序、實時低級質量保證反饋以及多種流程監控工具。該反應堆還配備了一個高真空設備，利用渦輪增壓泵，能夠達到低至0.001毫巴的速度，以提高生產精度。綜上所述，AIX 2400 G3 HTL是為先進材料高通量沈積而設計的最先進的OMCVD反應器。反應堆包含幾個部件，包括一個開放式室反應堆、一個熱壁石英反應堆、一個6向定心裝置、一個計算機控制的材料引進系統、一個電源、一個安全系統陣列和一個高真空單元。這種反應器提供高精度的沈積生產和最小的停機時間，同時它的不銹鋼腔室結構確保了極好的耐腐蝕性和耐用性。