二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9377347 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HTL是行業領先的高溫金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器。反應堆具有兩區配置、高溫運行和先進反應堆監測系統（ARMS）。它在高達1000 °C的溫度下提供高品質材料的快速增長速度。反應堆設有8個獨立運行的工藝區，材料或多區沈積能力更高。它采用自動化壓力和供氣技術提供先進的溫度和增長率控制。該單元還配備了附著的淋浴頭，以保持整個基板表面的均勻生長。利用專利HTL傳熱系統和具有先進溫度控制和主動沖洗系統的石英管爐，精確控制各工藝區的溫度，保持溫度穩定和均勻性。此外，該裝置還配有一個氣櫃和一個獨立的電源，以確保向8個加工區中的每一個提供適當的氣體。ARMS是一個提供按需增長率數據的綜合控制、監測和記錄裝置。該軟件可通過預先編程的警報設置實時運行,以防發生任何異常的進程行為。此外,它還提供了最高程度的工藝控制和精度,為8個工藝區域中的每一個設置內部壓力參數。AIX 2400 G3 HTL是一種功能強大、用途廣泛且可靠的反應堆,適用於要求苛刻的應用。適用於研究和生產應用，提供卓越的性能。利用先進的過程控制系統優化增長率和產量，也是高效的。本產品是任何需要高溫沈積能力的應用的絕佳選擇。