二手 AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O #9352626 待售

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ID: 9352626
優質的: 2004
MOCVD System 2004 vintage.
AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O是一種先進的分子束外延(MBE)反應器,為發展先進的光電材料結構而設計,用於生長超薄膜。它是業界最強大、效率最高的MBE反應堆之一,利用了最新的AIXTRON增長技術。這座先進的MBE反應堆能夠種植各種低維電子和光電材料,在廣泛的領域有著眾多的應用。AIX 2600 G3 HT-O采用獨特的三重腔室設計,由生長腔室、傳遞腔室和載荷鎖組成。生長室是獨立加熱和加壓的,允許在整個生長過程中精確的熱和壓力控制。它容納了幾個MBE源,包括但不限於Carbon, Nitrogen, Gallium, Indium, and Aluminum,以及一個石英晶體振蕩器。通過高真空互鎖設備連接到生長室的轉移室負責在生長室和負載鎖室之間過渡樣品。負載鎖室設計用於樣品裝卸,配有兩個樣品支架,一個用於基板,一個用於參考晶體。AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O利用專利德加技術、多區或「特定區」加熱系統和先進離子束濺射等先進的AIXTRON技術。德加技術在生長室產生1x10-2毫巴的壓力,提供極其清潔的無微量汙染的材料。多區加熱裝置用於在整個腔室中更有效地傳遞熱量,並且可以編程到區域的特定區域。先進的離子束濺射(IBS)源能夠沈積幾乎任何材料的非常薄的薄膜,並且專門設計用於限制濺射過程中的損傷。AIX 2600 G3 HT-O的其他特性包括高真空渦輪泵,與負載鎖定和轉移室相連,有泄漏檢測機,還有穿梭閥。高真空渦輪泵有助於快速排空生長室和轉移室之間的空氣,以及負載鎖和轉移室之間的空氣。泄漏檢測工具監控資產內可能的氣體泄漏。最後,使用穿梭閥在模型內進行紫外光電子光譜和掃描電子顯微鏡分析等分析實驗。總體而言,AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O是當今最先進的MBE反應堆之一。其精確的溫壓控制能力與先進的生長技術相結合,使其成為探索納米結構和發展先進光電材料結構的理想工具。
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