二手 AIXTRON AIX 2600 G3 HT #9359365 待售

AIXTRON AIX 2600 G3 HT是制造多種有機發光二極管（OLED）材料的關鍵部件。這一關鍵反應堆通過使用創新的混合微波/熱墻技術提供了非凡的能力。該技術允許高溫退火至600 °C,並在極低和高熱預算的情況下生產材料。AIX 2600 G3 HT由於其Hybrid Technology，將Hot Wall、Hot Source、Microwave處理結合在同一腔室中，是一款先進的設備。該系統通過使用三個獨立的工藝區域提供精確的溫度和工藝控制；這些領域代表了OLED材料生產的三個最重要方面：基材制備、材料沈積和退火。這些區域可分為三個獨立的窗口，然後用於生產具有不同熱預算和特性的材料。AIXTRON AIX 2600 G3 HT通過使用其閉環溫度控制實現了緊密的過程控制環路。它使用閉環溫度控制（CLTC）來確保在過程的每個階段中準確地建立由操作員設置的正確的熱剖面。AIX 2600 G3 HT還使用真空晶片翹曲（VWW）來補償晶片在生產過程中的自然翹曲。AIXTRON AIX 2600 G3 HT由於其精心設計的冷卻器腔室，包含一個碳化矽（SiC）加熱元件和兩個強大的冷卻風扇，在退火過程中提供了極好的均勻性。這在整個晶片或基板上提供了非常均勻的溫度輪廓，無論基板尺寸或厚度、基板堅固性或過程的復雜性如何。AIX 2600 G3 HT由於直觀的圖形用戶界面，也極具用戶友好性和易於操作。此圖形用戶界面提供了操作系統和從人體工程學椅子的舒適度監控整個過程所需的所有信息。AIXTRON AIX 2600 G3 HT是OLED生產的可靠而強大的工具。它的混合技術提供了出色的溫度和過程控制，以及卓越的均勻性。其用戶友好的界面，加上強大的技術，使其成為制造多種OLED材料的集成解決方案。