二手 AIXTRON AIX 2600 G3 #9393354 待售

AIXTRON AIX 2600 G3是用於研發活動的高性能外延反應堆。它是一種多用途的設備，能夠處理多種材料和工藝，如高溫退火、原位矽化和薄層沈積。該系統的設計滿足了基板尺寸、溫度控制和可重復性的共同要求，而這些要求往往是實現目標設備性能所必需的。AIXTRON AIX 2600G3能夠在低壓（<10 mbar）和低溫（<250 °C）操作，以及高壓（>10 mbar）和高溫（>1000 °C）操作中運行，從而實現可靠的過程控制和優化。先進的溫流控制裝置保證了未損壞基層的均勻外延，機器提供了高精度定位，最大限度地提高了材料利用率和吞吐量。AIX 2600 G3包括功能強大的觸摸屏控制器，提供直觀的用戶界面以及對壓力、溫度和流量等過程參數的實時監控。這樣可以確保用戶完全控制流程,並可以實時監控結果。該設備還配備了廣泛的安全功能，如過溫互鎖和反熱區傳感器，以確保人員和材料的安全。AIX 2600G3的設計重點是長期可靠性和性能、低維護成本和高水平的過程控制。它是一種多功能、高性能的工具，非常適合用於研究和開發基於底物的外延工藝，如薄膜沈積、退火和摻雜工藝。也適用於空化、電子束、離子註入過程等先進應用。